ALP_AN_093_CN_AccuSizer 系列仪器用于衡量化学抛光液（Slurry）过滤大粒子的效率

过滤后的抛光液的检测对减少生产过程中抛光液中大粒子的数量是非常有效的。 

该图显示的是用 AccuSizer FX 系列仪器对利用 1 微米滤膜过滤前和过滤后的抛光液的检测结果。AccuSizer FX 粒度仪采用光消减法利用粒子通过传感器的运动来探查粒子体积的消减。用这种消减法捕捉粒子更具灵敏性还可减少粒子的重合。因此 AccuSizer FX 粒度仪可以检测到更加微小的粒子，而且大大降低粒子的重合机率。对检测无需稀释进样且在线生产的产品，这款仪器是比较理想的。 

对过滤之后的样品进行检测发现，尾端的大粒子的浓度大幅降低。该图对同一样品的检测数据进行了 10 倍放大，从图中可以看出，粒径大于 2 微米的粒子数量明显减少。

AccuSizer FX 粒度仪能够对 CMP 抛光液进行粒径分布和粒子计数检测的优势，不仅能够帮助使用者节省时间还能够节约成本。有了 AccuSizer FX 粒度仪，传统的 SPOS 技术被带到一个全新的高度，并能为现代化生产线带来所需要的灵敏度和可靠性。