技术文献_粒度仪_均质机_稳定性分析仪_珠磨机_标准物质

浆料粒径对CMP工艺缺陷水平的影响通过使用两种粒度测量仪器，对最常用的化学机械抛光（CMP）氧化物浆料（CabotSC-112）的浆料粒度进行了分析。其中一种仪器是PSS粒度仪公司的Nicomp 370，用于监测平均粒径为100nm左右的浆料颗粒的主要群体。另一种仪器，Accusizer 770被发现是有效的监测粒径大于1μm。粒径分布测试是从供应商源容器和CMP机器上的使用点进行的，这些结果与BPSG CMP过程的缺陷级别相关。在研究过程中发现，浆料磨料颗粒的主要种群在样品间变化不大。然而，一小部分（＜0.01%）的大浆料颗粒在晶圆上颗粒数量的增加有关。经过仔细检查，发现这些颗粒是嵌入的浆料颗粒和微小的划痕。

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CMP 研磨液中颗粒的评价技术在化学机械抛光过程中，各种研磨液用于晶圆平坦化处理。这些研磨液中颗粒浓度可达＞1015颗/ml。除了用于抛光的大量颗粒外，研磨液中还含有相对较少＞1.0um的颗粒（二氧化硅而言 104-106颗/ml；氧化铝而言109颗/ml）。这些颗粒可能会在晶圆表面平坦化处理的时候造成微划伤。已开发出相应的技术用于评估研磨液中＞1.0um的不良颗粒以及这些颗粒的浓度。这些技术可以帮助我们确认系统中的颗粒污染源，以及帮助评估过滤的有效性以及减少这些不良颗粒。

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USP <788> Particle Counting AccuSize系列仪器用于不溶性微粒检测案例医用注射液不能含有可见异物。不可见异物通过使用光阻法的法、或者显微镜法检测，或者两者同时使用。在测量体积>100 mL时一般用光阻法，除另有规定外。针对单个或者混合无菌粉体制剂配成的注射液容积<100 mL (小剂量)就要单独检测。

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蛋白质溶液聚集检测基于治疗的蛋白质溶液聚集可能产生有害的免疫原性。对于较大尺寸的团聚体，可以测量这些团聚体，但在0.15至2微米范围内的较小团聚体很难量化。动态光散射(DLS)技术可以证明聚集体的存在，但不能提供任何关于聚集体的绝对浓度的信息。单粒光写传感器技术(SPOS)现在可以测量聚集蛋白的大小和浓度。

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通过单颗粒光学传感（SPOS）对CMP浆料进行超灵敏的在线监测 PSD中这些大颗粒“尾巴”的来源包括浆液分配系统中的泵和过滤器不良，以及由于pH或热冲击引起的胶体不稳定性的发生，以及其他影响。

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ALP_AN_073_CN_PSS NiComp 380 DLS 动态光散射粒度仪可分辨2：1的相邻双峰最近 Nicomp380 在某一著名化学公司现场演示时，在没有操作人员任何干预的情况下又一次成功地分辨出由客户提供的 150nm 和 350nm 聚苯乙烯乳胶混合样品的双峰分布

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ALP_AN_071_CN_Nicomp 380在线系列仪器在药物纳米颗粒应用分析纳米药物研究近些年主要着重在药物的传递方向并发展迅猛，纳米粒的大小可以有效减少毒性和副作用。所以，控制这些纳米粒的粒径大小是非常必要的。以前我们检测产品的粒度大都是在实验室完成的，然而现在我们也可以在制备过程中可以进行在线检测。这篇应用讲解了BIND医疗公司在英国剑桥MA完成这一开拓性的实验创举——将动态光散射技术运用到药物纳米载体Accurins 的生产线上。

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ALP_AN_070_CN_SPOS技术在半导体CMP制程中的应用胶体混悬液与分散体有着十分广泛应用领域，而决定这些体系质量和稳定性的重要因素就是其内部的粒径分布，因而准确掌握这些体系的粒径分布特征就能确保其在广泛领域的成功应用。相对于一些整体检测技术，如：激光衍射技术与超声衰减技术，单粒子光学传感技术 (Single Particle Optical Sensing, SPOS) 在分辨率与精确度方面取得了重大的突破。因此，对多种混悬液和分散体的质量与稳定性的研究，如：浓缩饮料、传递药物与营养用的水包油乳剂，包衣与粘合用的高分子分散体及半导体 CMP 制程中使用的 slurry 等, SPOS 方法更有价值。

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ALP_AN_069_CN_SPOS单颗粒技术在检测高岭土中的应用案例高岭土在工业生产中有着广泛的应用。有机杀虫剂中添加高岭土后，水果表面可形成一层高岭土保护膜阻止害虫侵害；高岭土可以作为橡胶的填充剂，橡胶中添加高岭土可以增加橡胶的强度、柔韧性以及耐磨性。但如果高岭土中含有大量超大颗粒，将会严重损害产品的性能。

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ALP_AN_068_CN_SPOS单颗粒技术检测氧化铈CMP slurry应用案例化学机械抛光液（CMP slurry）的制取和使用过程中需要测试粒度分布和大颗粒的含量。使用传统的粒度仪以及激光衍射仪器不可能完全检测和定量分析 CMP 的好坏，其尾端大粒子会导致研磨液划伤晶片，使得生产芯片企业出现质量上不过关的难题。

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ALP_AN_067_CN_SPOS单颗粒计技术在CMP slurry过滤器行业中的应用案例过滤在化学机械抛光液（CMP slurry）的制取和使用过程中是必不可少的。使用传统的动态光散射粒度仪不可能完全检测和定量分析过滤效果的好坏，即不能检测出导致研磨过程中划伤晶片的研磨液中大颗粒是否被滤除。有时过滤器的实际使用寿命会由于某种因素的影响比预期的使用寿命要缩短，而过滤器的失效会导致研磨液中的大颗粒划伤晶片。如果没有一种方法检测/监测研磨液过滤前后的尾部大颗粒，生产厂家就只能通过频繁更换过滤器的方法来保证产品质量的万无一失，这样做既浪费人力又浪费物力。

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ALP_AN_066_CN_Nicomp 21CFR 调整参比光 SOP Q：什么情况下需要进行调整 Zeta 电位参比光？ A：测试 zeta 电位，结果时而大时而小，测试中光强值小于 800KHz，参比光比较低时，需要对参比光进行调节。

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ALP_AN_065_CN_关于粒度检测的知识介绍No.2 关于粒度检测方法，我们首先要知道并且铭记，在颗粒检测方面，没有任何一种方法可以解决颗粒检测的所有问题，因此针对不同粒径大小和不同种类的样品，要选择合适的方法进行检测。这也是出现不同颗粒检测方法的原因。

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PSS-TN-Ent-12 technote-01-mg-ml-lysozyme-10566 The specifications for dynamic light scattering (DLS) systems are typically sample dependent. But many DLS systems specify the lower concentration limit as the ability to measure the protein lysozyme at a concentration of 0.1 mg/mL. This technical note documents proof that the Nicomp® DLS system is capable of repeatedly measuring 0.1 mg/mL lysozyme and provides details on how the measurements were performed.

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PSS-TN-Ent-11 technote-accusizer-data-interpretation-10575 The Entegris AccuSizer® is both a liquid particle counter and a high resolution particle size analyzer. This technical note shows typical results from the AccuSizer, and explains how to interpret the data generated.

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PSS-TN-Ent-02 Software Testing The AccuSizer® system software is designed to provide a userfriendly software package for the AccuSizer family of laboratory particle size and count analyzers. The software controls the instrument, processes the data, and creates result reports. An optional add-on helps customers implement 21 CFR Part 11 compliance in their laboratories. The user interface adapts to the instrument configuration and the tasks being performed to provide an intuitive access to the available features.

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ALP-TN-CN-10 走出高浓度样本粒度检测的误区目的探讨高浓度样本的粒度检测是否真正可行，探讨高浓度样本检测所需要关注的重点，以及如何避免误区。方法查阅国内外相关文献及进行实验验证。结论浓度过高会导致检测结果产生偏差，真正的高浓度检测应当建立在科学的统计学意义基础之上，并且尽量避开重合限。

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ALP-TN-CN-09 20μm标粒测量结果偏差原因分析验证仪器设备的标粒要符合相应的标准、法规及药典，本案例中使用了错误的标粒来验证仪器，结果出现了很大的误差。这也说明选用符合药典、法规及相关标准的标准粒子的重要性。

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ALP-TN-CN-08 780APS测量乳剂结果不平行原因及确证分析不同的仪器测试结果，可能会出现稍有的偏差，而设备要经过校准、PQ和系统适应性验证并且在有效期内数据才有参考价值。本实验在DF2值固定与不固定的情况下分别测量了不同仪器下的 PFAT5值，以此验证乳剂测量结果不平行的原因。

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ALP-TN-CN-07 780SIS测量不溶性微粒结果不平行原因及分析确证导致不溶性微粒测量结果不平行的原因有很多，可能是外界杂质粒子的进入、进样量太少等原因，本文通过实验进一步确证了Tare值的设置、进样量及外界杂质粒子都可能影响780SIS的测量结果，导致检测结果不平行。

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