主要应用

AccuSizer A9000系列（FX和FXnano）是一台全自动用于高浓度样本的纳米液体颗粒计数器，其适用的超高浓度样本浓度可以达到1×10⁶个/ml。其主要用于如下领域：

检测原理

聚焦光束纳米计数技术
Focus Beam

传统的液体颗粒计数器，尤其是低下限到瑞利散射（Rayleigh’s Law）区的非常小的粒子，如果要探测到相应的信号，要解决的问题主要有两个：
问题1：光信号不足；问题2：如何聚焦到如此窄的粒径范围。
要想解决这个问题，理论上我们需要能量非常高的激光。但是在现实中，往往很难达到理论上的要求。由此，Entegris(PSS)的科学家研发出了FX系列（A9000系列）传感器。

AccuSizer A9000FX系列液体颗粒计数器采用创新的基于光阻法的聚焦光束纳米计数技术(Focus Beam)，其在传统LE光阻传感器(Light Extinction)的单颗粒光学传感技术(SPOS)的基础上进行了改进和变革，解决了传统光阻法传感器对于液体浓度要求苛刻的限制，可检测的原液浓度高，配合稀释，可以检测更高浓度的样本。

A9000系列数据展示（一）

上图分别是在LG模式下测得的0.3μm，0.34μm，0.5μm，0.6μm的标粒混合样本后的结果。从图中可以看到，A9000 FXnano可以很轻松的将上述5中标粒区分开，而且能够给出颗粒的浓度（数量/mL）。

A9000系列数据展示（二）- 多通道

上图中可以看清晰看到，A9000 FXnano系列将不同大小的粒子的数量清晰明了的呈现出来了，而且通道划分得越小越细。

自动稀释
Automatic dilution

传统的单颗粒传感技术在样品浓度过高的情况下会出现“重合限” 问题。Entegris（PSS）专为高浓度样本的检测开发出专利的自动稀释，该方法可将超高浓度样品稀释至目标浓度，减少人工稀释的试错成本、时间成本和误差。计算机系统根据稀释因子自动还原样品的原始颗粒浓度，解决了高浓度样品的检测难题。时至今日，Entegris（PSS）独有的单颗粒光学传感技术（SPOS），在医药、半导体、新材料等新兴领域发挥了独特的作用。

自动稀释原理图

技术优势

0.01μm精度的超高分辨率
Ultra high resolution with 0.01μm accuracy

多通道的优势
512 Channel

如下图所示，这是0.8μm、2μm、5μm的混合标粒在8通道，16通道，512通道下不同的图谱。可以看到，在8通道下只有一个峰，粒子的大小介于0.6μm-2.2μm之间。在16通道下，可以看到2个峰，一个峰的粒子大小介于0.6μm-1.2μm之间，另外一个峰的粒子大小介于4.1μm-7.5μm之间。切换到512通道，可以明显看到3个主峰，分别是0.8μm、2μm和5μm。
在低通道的模式下，由于数据不够精确，容易导致误判。通道数变多，能够更准确反映出样品的真实情况。

10PPT等级的超高灵敏度
10PPT level ultra-high sensitivity

灵敏度高达10PPT级别，紧紧抓住纳米颗粒分布的“小尾巴”，哪怕只有痕量的颗粒通过传感器，也可以精准检测出来。在实际的生产和研发中，往往是极少数的颗粒决定了整个体系的质量和稳定性，如半导 体CMP制程所用研磨液(Slurny)、注射用乳剂中大乳粒(>5um，PFAT5)等。高灵敏度的传感器，才能确保检测结果更接近真实结果，助力于找到问题的真正根源和“罪魁祸首”。

A7000系列单颗粒光学传感技术(SPOS)检测结果VS激光衍射仪(LD)检测结果

左图为使用SPOS技术测得的粒度分布图谱，右图为使用激光衍射法(LD)技术测得的粒度分布图谱。左图为3.41微升的1微米PSL标粒分散于250毫升氧化硅中的PSD图谱，右上图为177微升同样的标粒分散于同体积氧化硅，右下图为360微升同样的标粒分散于4.3mL的氧化硅中。
由图谱可以看出:尽管将浓度提高52倍(如右上图所示)，LD不能将不同组分进行区分；将浓度提高约6000倍(如右下图所示)，方能看出有尾端大粒子存在。这充分说明SPOS技术比LD的灵敏度显著提升约6000倍。