检测原理

单颗粒光学传感技术
Single Particle Optical(SPOS)

传统的粒度表征的方式是用激光衍射法来获得粒度体积径分布。其优点是检测方便，干法湿法都能测试，数据结果容易辨读，如D10，D50，D90。但由于其理论的理想化假设，如米氏散射理论和夫琅禾费衍射理论都将颗粒假定为非常标准的圆形且计算中采用的物理光学参数都非常精确，这就导致了在实际应用中产生了一系列的问题，如不同厂家的仪器测试的结果不统一；即使同样的样品，同样的仪器在不同时期不同的人操作也会产生差异；对不同大小的粒径分辨率不足等。

AccuSizer® 系列仪器使用单颗粒光学传感技术（Single Particle Optical Sizing，SPOS），对大量粒子样本进行粒径测试并计数，一次检测一个颗粒，来构建真正的粒度分布（PSD），不仅可以得到高分辨率传统的体积分布结果，也可以得到量化的数量分布结果。其前所未有地将样品中颗粒的数量和大小进行了量化，可以很轻松地将样品中的个别大颗粒检测出来，对尾端粒子的高分辨率和灵敏性为产品的均一稳定性研究提供了强有力的武器。

粒子通过光感区域的时候阻碍了一部分入射光，引起到达检测器的光强降低，此信号的衰减幅度理论上与粒子的横截面成比例关系。在光阻法仪器中，将光强信号转换成电信号，具体表现为电压值，不同粒径大小的粒子产生的电压值不同。根据对应关系，就可以建立标准粒子和粒径大小的校准曲线。这是传统的光阻法（也称为光消减法，Light Extinction or Light obscuration）检测粒径的原理。传统光阻法的范围下限一般到1.5µm。

单颗粒光学传感技术(SPOS)原理图

Entegris（PSS）的SPOS技术结合了光阻效应和光散理论，将颗粒计数的下限下探到0.5µm。这不仅迎合了更严苛的质量要求，也助力于精密制造对环境杂质的高标要求。多达512个数据通道使数据辨析清晰可见。

如下图所示，所用样品为经过400目（37μm）筛的标准粒子。理论上超过37微米的应该没有或者极少。红色为激光衍射（Laser Diffraction）弗朗和费理论（Frannhofer）的测试结果，绿色为SPOS设备测试结果。

SPOS测试结果显示在35μm以上没有颗粒，而LD显示即使300μm也有颗粒存在。原因在于粒度检测的整体理论（Ensemble method）是模拟计算的结果，此类理论揭示的是自然界中实际呈现的正态分布现象。

技术优势

0.01μm精度的超高分辨率
Ultra high resolution with 0.01μm accuracy

多通道的优势
512 Channel

如下图所示，这是0.8μm、2μm、5μm的混合标粒在8通道，16通道，512通道下不同的图谱。可以看到，在8通道下只有一个峰，粒子的大小介于0.6μm-2.2μm之间。在16通道下，可以看到2个峰，一个峰的粒子大小介于0.6μm-1.2μm之间，另外一个峰的粒子大小介于4.1μm-7.5μm之间。切换到512通道，可以明显看到3个主峰，分别是0.8μm、2μm和5μm。
在低通道的模式下，由于数据不够精确，容易导致误判。通道数变多，能够更准确反映出样品的真实情况。

10PPT等级的超高灵敏度
10PPT level ultra-high sensitivity

灵敏度高达10PPT级别，紧紧抓住纳米颗粒分布的“小尾巴”，哪怕只有痕量的颗粒通过传感器，也可以精准检测出来。在实际的生产和研发中，往往是极少数的颗粒决定了整个体系的质量和稳定性，如半导 体CMP制程所用研磨液(Slurny)、注射用乳剂中大乳粒(>5um，PFAT5)等。高灵敏度的传感器，才能确保检测结果更接近真实结果，助力于找到问题的真正根源和“罪魁祸首”。

A7000系列单颗粒光学传感技术(SPOS)检测结果VS激光衍射仪(LD)检测结果

左图为使用SPOS技术测得的粒度分布图谱，右图为使用激光衍射法(LD)技术测得的粒度分布图谱。左图为3.41微升的1微米PSL标粒分散于250毫升氧化硅中的PSD图谱，右上图为177微升同样的标粒分散于同体积氧化硅，右下图为360微升同样的标粒分散于4.3mL的氧化硅中。
由图谱可以看出:尽管将浓度提高52倍(如右上图所示)，LD不能将不同组分进行区分；将浓度提高约6000倍(如右下图所示)，方能看出有尾端大粒子存在。这充分说明SPOS技术比LD的灵敏度显著提升约6000倍。

Accusizer工作站

AccuSizer® 工作站具备仪器控制、数据采集、数理统计分析、出具报告以及权限管理、用户管理、数据安全性、审计追踪和电子签名等功能。

权限管理 | Authority management

内置22种子权限管理，灵活设置，便于更细致化管理，满足CSV计算机系统验证。

数据备份 | Data backup

可与Lims系统连用并按照固定时间点或间隔时长，自动备份到指定路径或上传到其他服务器，无需担心数据丢失。

内置标准和模板

全通道 VS 自定义通道

样品测试界面

自定义报告

高度可定制化报告模版，更可以满足不同行业的不同需求，既可以满足质检部门(QC)的需求，更可以为研发工程师提供强大的数据分析能力。